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机械易磨损零部件的高性能自润滑涂层解决方案

半导体/液晶制造工业

防静电自润滑涂层在半导体液晶制作行业应用时，主要有如下优点：

（1）涂层电阻率控制在1*106-1*109欧姆；

（2）摩擦系数低，保护对磨件无划伤等不良现象；

（3）延长基板使用寿命。